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干式机械真空泵的应用与相关性能比较


    首先来讲,我们其实也就是要注意就干式机械真空泵其实也就是会应用在了低压化学气相沉积当中的多晶硅制备工艺;再者,就干式机械真空泵其实也就是会应用了半导体刻蚀工艺。处于这些生产工艺当中,这时候,其实也就是会用到或者是生成腐蚀性气体与相关的研磨微粒。

   再者,就干式机械真空泵的应用来讲的话,除了半导体工艺之外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入到泵油当中,且希望微粒排出泵之外会用到此设备;就其处于化学工业、医药工业或者是食品工业当中的蒸馏、干燥、脱泡以及其包装等,要注意去防止有机溶剂所造成污染,适合用干式真空泵。

   紧接着,也就是要注意应该是要做一般无油清洁真空系统上的前级泵,这时候也就是能防止油出现污染。

   再者,我们其实也就是要注意一下,就不同的真空泵性能比较,首先也就是要注意去观察一下其真空度,就干式螺杆真空泵、爪式真空泵以及其无油涡旋真空泵极限真空度都比较高,最高极限真空也就是会达到1-2Pa;紧接着,我们其实也就是要注意就其无油往复真空泵也就是粗真空设备,极限真空度比较低,需要进行搭配罗茨真空泵来进行提高其极限真空。

   就无油涡旋真空泵来讲,因为其内部结构问题,抽气量比较小,只适用于小抽气量的工艺当中;干式螺杆真空泵型号上比较齐全,这时候,也就是会比较适用大抽气量工艺当中,接下来讲的话,我,我们其实也就是要注意就其本身也就是会配合罗茨真空泵能在很大的程度上也就是能满足不同种类的客户的需求。

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