真空泵在进行使用的时候，还要注意一下油的清洁度，就每周一次停泵检查油的污染情况，这时候也就应该要从油的颜色和粘度来进行判定是不是应该进行换油，应该记住必须在泵热的时候停泵换油。鉴于如此，换油之前泵必须至少运转15分钟，然后停泵，将油放尽。当油被严重污染则脏油被放尽后，需开动泵，这时候也就要注意在吸气口缓缓注入新油，运转10分钟，然后再放掉油，如果油仍然很脏，可重复上述过程，直至放出的油清洁为止。

    真空泵的使用，还要注意一下吸气口滤网，对于堵塞吸气口的金属丝网这时候是用来防止外来尘粒进入泵体，此滤网应该要注意去随时保持清洁，避免泵的抽速下降。

    真空泵的使用，还应该注意一下排气过滤器，此设备的寿命取决于泵的使用情况，对于泵被使用在清洁的气体中，这时候也就应该要根据排气口有无烟雾来判断是不是应该调换排气过滤器，在通常情况之下，每年应更换一次，如果泵被使用在脏的气体中，则应缩短更换周期。

    真空泵的使用，为了获得良好的过滤效果，每次换油之后应该要注意去调换过滤器；真空泵在进行贮藏的时候，这时候要注意就此泵长期停止使用，这时候应该先把油放尽，之后也就是要注意去彻底清洗一下泵设备然后也就是要注意注入需要数量的清洁油，封闭进气口以防止灰尘进入。